Репортаж от Wedoany，13 июля компания Bosch из Германии объявила о начале производства образцов на заводе по выпуску полупроводников из карбида кремния в Розвилле, Калифорния, США. Проект предусматривает инвестиции до 2 миллиардов долларов для системной модернизации существующего завода по производству пластин, строительства новых чистых помещений и линий по изготовлению чипов из карбида кремния. Завод планирует начать коммерческое производство первых чипов из карбида кремния на 200-миллиметровых пластинах в 2026 году, осуществив переход от изготовления образцов к серийному выпуску.
Завод в Розвилле имеет более чем 40-летнюю историю производства полупроводников. После завершения приобретения завода в августе 2023 года компания Bosch из Германии немедленно приступила к модернизации производственной системы. Проект заключался не в простой замене части производственного оборудования, а в преобразовании существующего предприятия по выпуску кремниевых полупроводников в специализированный завод по производству и тестированию силовых устройств из карбида кремния. Модернизация охватила чистые помещения, оборудование для обработки пластин, системы управления производством, испытательное оборудование и этапы последующей обработки.
В настоящее время на заводе создано около 13 000 квадратных футов чистых помещений и установлено современное производственное оборудование для выпуска 200-миллиметровых пластин из карбида кремния. На предприятии установлены системы онлайн-измерений и контроля процессов, позволяющие непрерывно отслеживать ключевые параметры в процессе обработки пластин и своевременно корректировать технологию на основе результатов измерений. Завод также обладает возможностями сортировки пластин, финального тестирования и контроля качества, что позволяет объединить этапы фронтального производства пластин и последующего тестирования, сортировки и резки в рамках одного предприятия.
Запуск производства образцов свидетельствует о том, что часть производственного оборудования завода в Розвилле уже установлена и прошла предварительную наладку. Проект переходит от этапа реконструкции зданий и оборудования к этапу технологической валидации. Производимые на данном этапе образцы будут использоваться для проверки процессов обработки пластин, стабильности оборудования, характеристик продукции и воспроизводимости производства, а также заложат основу для последующего повышения выхода годных изделий и наращивания объемов выпуска. До начала серийного производства заводу еще предстоит провести валидацию непрерывной работы производственного оборудования, оптимизацию технологических параметров, тестирование надежности продукции и сертификацию у клиентов. Данная оценка этапов проекта основана на стандартных процессах полупроводникового производства.
Завод в Розвилле будет использовать технологию карбида кремния компании Bosch из Германии для производства силовых полупроводников на 200-миллиметровых пластинах. По сравнению с пластинами меньшего размера, одна 200-миллиметровая пластина может вместить больше чипов, что способствует повышению коэффициента использования оборудования и выхода продукции с партии. Соответствующая продукция в основном предназначена для инверторов электромобилей, зарядных преобразователей и других систем преобразования высокого напряжения. В будущем она также может найти применение в промышленных энергосистемах, коммуникационном оборудовании и системах электропитания центров обработки данных.
Устройства на основе карбида кремния способны работать в условиях высокого напряжения, высоких температур и высоких частот переключения, снижая потери энергии в процессе преобразования. В центрах обработки данных и вычислительных мощностях для искусственного интеллекта такие устройства могут использоваться в блоках питания серверов, накопителях энергии и других узлах преобразования высокой мощности, помогая снизить потери при преобразовании, тепловыделение и частично нагрузку на охлаждение. Компания Bosch из Германии также планирует впоследствии производить на заводе в Розвилле чипы из карбида кремния третьего поколения, однако конкретные сроки внедрения и планы по установке нового оборудования пока не объявлены.
Согласно текущим планам, завод в Розвилле начнет коммерческое производство в 2026 году. Основные этапы следующего этапа будут включать валидацию образцов, комплексную наладку производственного оборудования, повышение выхода годных изделий, сертификацию коммерческой продукции и выход на проектную мощность. После полного ввода в эксплуатацию этот завод станет первой производственной базой полупроводников компании Bosch из Германии в США и будет выполнять задачи по фронтальной обработке пластин из карбида кремния, а также тестированию, сортировке и резке.
