Нидерландская ASML совместно с TNO продвигает массовое производство фотонных чипов

Репортаж от Wedoany，24 июня. Нидерландский производитель литографического оборудования ASML и Нидерландская организация прикладных научных исследований TNO заключили соглашение о сотрудничестве. Стороны совместно будут развивать Pilot Line фотонных чипов на базе Эйндховенского хай-тек кампуса, способствуя переходу фотонных чипов от экспериментальных разработок к масштабному производству. После завершения строительства данная экспериментальная производственная линия будет обладать мощностью по изготовлению фотонных чипов из фосфида индия на 6-дюймовых пластинах.

Эта производственная линия, строительство которой возглавляет TNO, является частью европейского проекта PIXEurope. Её цель — создать промышленную платформу для передовых фотонных чипов из фосфида индия, обеспечивающую полный цикл от исследований и разработок, через опытное производство до верификации масштабного выпуска. Согласно официальной информации TNO, линия будет построена в Эйндховенском хай-тек кампусе и после ввода в эксплуатацию сможет функционировать как тестовая платформа и производственное предприятие, поддерживая полный цикл изготовления передовых InP фотонных чипов на 6-дюймовых пластинах.

Роль ASML в данном сотрудничестве сосредоточена главным образом на литографии, контроле процессов и метрологии. В соответствии с договорённостями, ASML поэтапно предоставит новому заводу TNO поддержку в области производственных технологий, включая оборудование DUV и I-Line литографии, а также совместно с TNO создаст среду для разработки, тестирования и верификации процессов изготовления фотонных чипов. Для индустрии фотонных чипов способность стабильно воспроизводить процессы, повышать выход годных и сокращать цикл разработки является ключевым барьером на пути от лаборатории к массовому производству.

Фотонные чипы отличаются от традиционных электронных чипов тем, что их основная функция заключается в использовании световых сигналов для передачи, обработки или модуляции информации. Материал фосфид индия подходит для реализации активных оптических функций, таких как лазеры, модуляторы и детекторы, и имеет важное прикладное значение в таких областях, как высокоскоростная оптическая связь, межсоединения центров обработки данных, ИИ-инфраструктура, сенсорика, медицинская диагностика, связь 6G и безопасная связь. С ростом потребности ИИ-центров обработки данных и высокоскоростных сетей в низком энергопотреблении и высокопропускных межсоединениях, фотонные чипы переходят от передовых технологий к стадии промышленной конкуренции.

Присоединение ASML к экспериментальной линии фотонных чипов TNO подаёт сигнал, выходящий за рамки простого поставщика оборудования. Это свидетельствует о стремлении Нидерландов распространить свои преимущества в области полупроводникового оборудования, контроля технологических процессов и высокотехнологичного производства на интегрированную фотонную индустрию. Производство фотонных чипов также требует высокой точности переноса рисунка, межслойного совмещения, стабильности процессов и способности к обнаружению дефектов — эти возможности тесно связаны с многолетним опытом ASML в литографии и метрологии.

Для Европы экспериментальная производственная линия 6-дюймовых InP фотонных чипов восполняет промежуточное звено «от разработки до производства». Многие проекты фотонных чипов и прототипы устройств уже появились в научно-исследовательских институтах, стартапах и лабораториях. Однако для выхода на рынки связи, центров обработки данных и промышленных приложений необходимы воспроизводимые, верифицируемые и масштабируемые производственные мощности. Строительство линии TNO как раз направлено на снижение разрыва между опытными образцами и промышленной продукцией.

Сотрудничество ASML и TNO также будет стимулировать высокотехнологичную экосистему Brainport, расположенную в Эйндховене. Этот регион объединяет ресурсы в области полупроводникового оборудования, фотонных технологий, системной интеграции, передового производства и университетских исследований, обладая промышленной базой для соединения разработки фотонных чипов, оборудования, процессов и приложений. По мере продвижения строительства экспериментальной линии, соответствующие предприятия смогут сформировать более тесную кооперацию в таких звеньях, как производство пластин, сборка и тестирование, инструменты проектирования, технологические услуги и верификация приложений.

Практическая ценность этого сотрудничества проявится на производственной линии. Сможет ли фотонный чип действительно выйти на масштабное применение, зависит не только от характеристик устройства, но и от стабильности параметров устройств на одной пластине, согласованности между партиями, возможности раннего выявления дефектов и снижения затрат по мере роста масштабов. Внедрение ASML литографических и метрологических возможностей в экспериментальную линию TNO как раз направлено на то, чтобы перевести производство фотонных чипов от стадии «можно сделать» к стадии «можно стабильно делать».

Данный материал скомпилирован платформой Wedoany. При цитировании материалов, созданных с помощью искусственного интеллекта (ИИ), необходимо обязательно указывать источник — «Wedoany». В случае выявления нарушения прав или иных проблем просим своевременно информировать нас. Сайт оперативно внесёт изменения или удалит материал.Электронная почта: news@wedoany.com