Полностью автоматический станок для утонения 8-дюймовых пластин карбида кремния компании CETC внедрён в серийное производство

Репортаж от Wedoany，Первая установка для полностью автоматического утонения пластин приборов из карбида кремния (SiC), самостоятельно разработанная Пекинской компанией CETC, входящей в состав CETC Electronic Equipment Group (сокращённо — CETC Equipment), недавно была успешно поставлена ведущему отечественному предприятию по производству пластин и внедрена в серийное производство. Таким образом, компания сформировала передовое в отрасли комплексное решение для утонения слитков, пластин и приборных пластин карбида кремния на всех этапах технологического процесса, полностью основанное на отечественном оборудовании.

В настоящее время индустрия полупроводниковых соединений вступает в ключевой период масштабного расширения. Ускоренное распространение 800-вольтовых высоковольтных платформ для новых энергетических транспортных средств, итерационное обновление стандартов фотоэлектрических накопителей энергии и концентрированный рост спроса на источники питания для ИИ-вычислений — эти три фактора развития накладываются друг на друга, формируя острую рыночную потребность в высокопроизводительных силовых приборах из карбида кремния, соответствующих требованиям автомобильного стандарта и сценариям вычислительных применений.

В производстве силовых приборов из карбида кремния процесс утонения обратной стороны пластины является одной из важнейших операций, определяющих тепловое сопротивление прибора, потери проводимости и серийный выход годных изделий. В связи с высокой твёрдостью и трудностью шлифования карбида кремния обработка обратной стороны пластины подвержена сколам, микротрещинам и даже разрушению пластин, что предъявляет жёсткие требования к жёсткости оборудования для утонения, виброподавлению шпинделя, формоудержанию стола и замкнутому управлению технологическим процессом.

Пекинская компания CETC, ориентируясь на болевые точки отрасли, разработала полностью автоматический станок для утонения пластин приборов из карбида кремния. Согласно представленной информации, оборудование имеет трёхосную четырёхпозиционную компоновку, интегрированные блоки автоматической транспортировки и очистки, обеспечивая полностью автоматический процесс обработки по схеме «сухой вход — сухой выход», что эффективно сокращает время межоперационной передачи. За счёт подбора высокожёсткого, низковибрационного, высокомощного аэростатического шпинделя, шлифовального круга и технологических параметров достигается баланс между производительностью обработки и затратами на расходные материалы. По результатам серийных испытаний 8-дюймовые пластины карбида кремния стабильно утоняются минимум до 120 микрометров, производительность составляет не менее 15 пластин в час, а разброс толщины по пластине после шлифования стабильно удерживается в пределах 3 микрометров, что полностью удовлетворяет требованиям масштабного серийного производства по производительности и однородности.

Одновременно оборудование оснащено собственной высокожёсткой прецизионной аэростатической шпиндельной системой, обеспечивающей субмикронную точность вращательного движения и широкое технологическое окно, что позволяет использовать различные расходные материалы для утонения; в комплексе с высокоточной системой контроля нагрузки обеспечивается мониторинг процесса в реальном времени и предупреждение риска разрушения пластин. Программно-аппаратный комплекс оборудования также поддерживает функции автоматической правки и калибровки шлифовального круга.

Как сообщается, данное оборудование представляет собой крупный прорыв отечественной техники в области утонения обратной стороны 8-дюймовых пластин карбида кремния, восполняет пробел в китайском оборудовании для производства полупроводниковых соединений и обеспечивает надёжную основу для масштабного производства отечественных силовых приборов из карбида кремния.