Точность обнаружения AOI-оборудования для контроля после травления TGV компании China Huahan Weiye составляет не менее 99%

Репортаж от Wedoany，Компания China Huahan Weiye представила AOI-оборудование Zeus HS3000 для контроля после травления TGV, которое использует технологию трехсторонней синхронной визуализации и алгоритмы искусственного интеллекта для решения проблемы сложности обнаружения глубоких отверстий в процессе травления высокоплотных сквозных стеклянных отверстий (TGV).

В цепочке производства TGV травление является ключевым этапом, определяющим геометрию отверстий и электрические характеристики. Точность формы отверстий и их позиционная согласованность напрямую влияют на выход последующих процессов гальванизации и соединения. Обычные методы плоскостного контроля не могут удовлетворить требования к качеству трехмерных структур глубоких отверстий. К распространенным проблемам отрасли относятся: слепые зоны обнаружения трехмерных структур; сложность обеспечения нанометровой точности измерений, так как обычное оборудование подвержено влиянию теплового дрейфа окружающей среды; недостаточная эффективность и стабильность определения дефектов, высокая субъективность и низкая эффективность ручной классификации; а также проблема изолированности данных, ограничивающая оптимизацию процессов.

Для решения этих проблем Zeus HS3000 с помощью технологии трехсторонней синхронной визуализации позволяет за одну экспозицию одновременно получать изображения верхней, средней и нижней частей отверстий. В сочетании с возможностью полного контроля с обеих сторон это устраняет слепые зоны обнаружения глубоких отверстий. Встроенный собственный алгоритм ИИ автоматически извлекает характеристики дефектов и классифицирует их, обеспечивая общую точность обнаружения не менее 99%. Диапазон обнаружения охватывает типичные дефекты отверстий, такие как пропущенные отверстия, непроходные отверстия, инородные тела в отверстиях, а также дефекты поверхности платы, включая царапины, загрязнения, трещины, ямки травления. Кроме того, поддерживаются измерения размеров: диаметр/округлость поверхностных отверстий, диаметр/округлость отверстий в средней части, позиционирование отверстий, концентричность отверстий на верхней и нижней поверхностях.

В части мониторинга процесса оборудование может генерировать карты распределения Mapping для размеров и допусков формы и положения, визуально отслеживая колебания процесса травления и инициируя предупреждения. Точность определения позиционирования сквозных отверстий составляет менее 1 микрона, что помогает быстро выявлять проблемы процесса на производственной линии. Оборудование также поддерживает межпроцессное соединение данных, связывая данные контроля с процессом травления на предыдущем этапе, способствуя созданию замкнутой системы управления качеством.

Оборудование выпускается в двух модификациях: полностью автоматической и полуавтоматической. Полностью автоматическая модель оснащена модулем EFEM для автоматической загрузки и выгрузки подложек, адаптирована для крупносерийных автоматических линий с панелями размером 510 мм × 515 мм и стеклянными пластинами диаметром 6, 8 и 12 дюймов. Полуавтоматическая модель имеет облегченную конструкцию рамы, загрузка и выгрузка подложек осуществляется вручную.

Для решения технологических сложностей, связанных с прозрачностью, высокой отражающей способностью и высоким соотношением сторон микропор в стеклянных подложках TGV, компания Huahan Weiye разработала замкнутую систему AOI-контроля, охватывающую все этапы: входной контроль материала, лазерную индукцию, химическое травление, металлизацию методом PVD-гальванизации и перераспределительный слой RDL.