Репортаж от Wedoany，Группа «Элемент» начала подготовку инфраструктуры для первой в России промышленной установки вакуумного напыления алюминия, в рамках проекта будет построено специализированное чистое помещение и комплекс инженерных систем, соответствующих требованиям микроэлектронного производства.
Проектирование чистого помещения поручено компании «Системные решения», сумма контракта составляет 21 млн рублей. Компания одержала победу в тендере, проведённом Научно-исследовательским институтом молекулярной электроники (НИИМЭ). Испытательный центр будет построен в Зеленограде, его площадь составит около 350 квадратных метров. Министерство промышленности и торговли РФ выделило отдельное финансирование на разработку оборудования, в 2026 году планируется направить около 2 млрд рублей.
Цель проекта — создание отечественного оборудования, способного заменить продукцию Applied Materials и Evatec. Новое оборудование будет использоваться для производства чипов на пластинах диаметром 200 мм с технологическими нормами от 180 до 90 нм, позволяя осаждать слои алюминия, титана и нитрида титана для формирования токопроводящих дорожек и защитных покрытий без зависимости от зарубежных систем.
В связи с высокими требованиями к контролируемой среде для оборудования, в проекте предусмотрено несколько отдельных зон, включая зону осаждения металлизации, измерительный блок и помещения для инженерных систем. Основная зона должна соответствовать классу чистоты ISO 6, вспомогательные зоны — классу ISO 8.
В чистом помещении необходимо поддерживать строгие параметры: фильтрация воздуха до частиц размером 0,3 микрона, температура в пределах 22±2°C, влажность около 50%, вибрация не более 6 мкм/с. Кроме того, требуется оснащение резервной системой электропитания, подачей сверхчистых газов, системой охлаждения, контролем электромагнитных помех и непрерывным мониторингом параметров окружающей среды.
Отраслевые источники отмечают, что строительство чистых помещений является одной из самых сложных и дорогостоящих задач в российской микроэлектронике. После ограничения поставок с Запада часть оборудования и компонентов для таких систем по-прежнему приходится закупать за рубежом, в основном в Китае.
Данный проект чистого помещения является частью разработки восьмимодульной установки вакуумного напыления, оснащённой двумя роботизированными манипуляторами для обработки кремниевых пластин. Завершение изготовления оборудования запланировано на конец сентября 2030 года.
Данный материал скомпилирован платформой Wedoany. При цитировании материалов, созданных с помощью искусственного интеллекта (ИИ), необходимо обязательно указывать источник — «Wedoany». В случае выявления нарушения прав или иных проблем просим своевременно информировать нас. Сайт оперативно внесёт изменения или удалит материал.Электронная почта: news@wedoany.com
