Репортаж от Wedoany，Линия очистки поликремния полупроводникового класса на заводе Wacker Chemie AG в Бургхаузене, Германия, после полной автоматизации увеличила производительность более чем на 50%. Проект был реализован компанией SCIO Automation в качестве генерального подрядчика: контракт подписан весной 2022 года, пусконаладочные работы начались в марте 2024 года, в сентябре того же года начался этап тестирования, а в 2025 году система была введена в промышленную эксплуатацию.
Под влиянием растущего спроса со стороны полупроводниковой промышленности Wacker Chemie требовалось полностью автоматизированное сквозное решение, сочетающее чистоту, технологическую надежность и масштабируемость. После заключения контракта в мае 2022 года несколько подразделений SCIO работали совместно: Warehouse Intrasolutions руководило управлением проектом, SCI (Schiller Cleanroom Intralogistics) предоставило экспертизу в области чистой комнатной логистики, а команды из Мюнхена и Дуйсбурга отвечали за роботизированные решения и техническую документацию. В течение нескольких месяцев проектная группа завершила цифровое планирование всей установки.
Объект включает центральный высотный склад для малых контейнеров (SLC) с конвейерной системой, устройствами обработки точек передачи технологического оборудования и станциями ввода/вывода. Высотный склад имеет пятизначное количество мест хранения, 6 проходов (штабелеров) и двухглубинное хранение, длина около 30 метров, высота вдвое больше ширины. Конвейерная технология включает более 500 метров транспортировки контейнеров и технологических поддонов, 8 роботов (включая захваты для крышек, захваты для поддонов, захваты для опорожнения), распределенных на 2 этажа, подающих на 5 интерфейсов, с 5 противопожарными дверями в качестве запорных устройств конвейерной системы. Вся система включает восемь роботизированных рабочих ячеек и индивидуальную конвейерную систему из нержавеющей стали для обеспечения максимальной точности и чистоты при обработке поликремния.
Технология цифровых двойников сыграла ключевую роль в реализации проекта, позволив команде полностью протестировать взаимодействие всех ИТ- и заводских компонентов, а также заранее обучить операторов, что значительно ускорило последующий процесс пусконаладки на месте. Проект предъявлял чрезвычайно высокие требования к предотвращению загрязнения продукции. Поскольку при дроблении ранее осажденных стержней кремния трудно полностью избежать микроскопического загрязнения посторонними атомами, полученные кремниевые пластины необходимо травить высококонцентрированной кислотой для обеспечения чистоты поверхности. Wacker предоставил образцы материалов для тестирования. Благодаря предыдущему опыту SCI в установке более 50 метров конвейерной технологии для чистых помещений в рамках проекта под кодовым названием «Зонтик», команда глубоко изучила конкретные требования Wacker Chemie. Вся система реализована с высокой точностью, полная конвейерная система, включая технологию для чистых помещений и специализированную транспортировку контейнеров, поставлена из одного источника.
Внутреннее сотрудничество SCIO привело к дальнейшим вехам: от предварительной сборки конвейерной системы в Беннингене до заводских приемочных испытаний в Остерхофене и виртуальной пусконаладки в июне 2023 года — все этапы были выполнены эффективно.
Wacker Chemie AG — глобально действующее предприятие по производству специальных химических продуктов, чей полупроводниковый отдел является важным поставщиком для международной полупроводниковой промышленности, предлагая более 3000 продуктов. Исследовательские и инновационные проекты, инициированные компанией, получили финансирование в размере до 46 миллионов евро в рамках программы «Важные проекты общего европейского интереса» (IPCEI) по микроэлектронике и коммуникационным технологиям ЕС, при поддержке Федерального министерства экономики и энергетики Германии (BMWE), Министерства экономики, регионального развития и энергетики Баварии, а также Европейского союза.
Данный материал скомпилирован платформой Wedoany. При цитировании материалов, созданных с помощью искусственного интеллекта (ИИ), необходимо обязательно указывать источник — «Wedoany». В случае выявления нарушения прав или иных проблем просим своевременно информировать нас. Сайт оперативно внесёт изменения или удалит материал.Электронная почта: news@wedoany.com
