Китайский институт метрологии создал первую высокоточную эталонную установку для измерения круглости, неопределённость снижена с 20 нм до 6 нм

Репортаж от Wedoany，Первая в Китае высокоточная эталонная установка для измерения круглости была разработана и официально введена в эксплуатацию Национальным институтом метрологии Китая (National Institute of Metrology, China).

Круглость является ключевым базовым параметром в системе допусков формы и расположения геометрических величин. Точность измерений напрямую влияет на производительность и качество сборки высокотехнологичной продукции, такой как прецизионные шпиндели, передовые оптические элементы, полупроводниковые чипы и другие изделия высокого класса. Долгое время, хотя в Китае и были созданы эталоны геометрических величин, такие как плоскостность, для круглости отсутствовал национальный источник прослеживаемости, что стало одной из проблем, сдерживающих автономный контроль и высококачественное развитие высокотехнологичных отраслей.

Созданная эталонная установка для измерения круглости восполнила этот пробел, обеспечив высоконадёжную и высокоточную поддержку прослеживаемости для стратегических отраслей, таких как аэрокосмическая промышленность, высокоточные станки, передовая оптика и полупроводниковое производство. Это усовершенствовало национальную систему эталонов геометрических величин и предоставило фундаментальное техническое обеспечение для строительства сильной производственной державы и державы качества.

На техническом уровне данная установка интегрирует ряд собственных инновационных технологий, преодолев международные технические барьеры, такие как высокоточная оценка круглости, разделение погрешностей шпинделя и контроль согласованности фильтрации. В установке предложена модель расчёта круглости, основанная на высокоточной фильтрации круглости и полном использовании данных, что эффективно решило проблему стабильности реконструкции профиля после разделения стандартной полусферы.

Новая технология разделения погрешностей, разработанная в Китае, значительно подавила погрешность вращения шпинделя, снизив неопределённость измерения круглости с 20 нанометров до 6 нанометров, что вывело измерительные возможности на передовой международный уровень. Этот прорыв означает, что Китай достиг автономного контроля над ключевыми технологиями высокоточного измерения круглости, нарушив долгосрочную технологическую монополию зарубежных стран.