Минпромторг выделит 1,4 млрд рублей на разработку оборудования для влажной обработки кремниевых пластин

Репортаж от Wedoany，Министерство промышленности и торговли РФ (Минпромторг РФ) планирует выделить около 1,4 млрд рублей на разработку отечественного оборудования для влажной химической обработки кремниевых пластин. Данное оборудование представляет собой автоматизированную линию, предназначенную для травления, очистки и сушки кремниевых пластин диаметром 100, 150 и 200 мм, с целью замены аналогичных американских и японских изделий, используемых в настоящее время российскими предприятиями.

Тендер на разработку опытного образца уже опубликован на портале государственных закупок. Согласно условиям тендера, оборудование должно обрабатывать пластины диаметром до 200 мм, максимальная загрузка — до 100 пластин за одну партию. Оборудование должно быть совместимо как минимум с восемью химическими реагентами, включая плавиковую кислоту, серную кислоту, соляную кислоту, аммиак и перекись водорода. Для различных операций используются разные химические составы, и система должна автоматически переключаться между ними, не допуская смешивания несовместимых веществ. Ключевые компоненты, такие как ротор, система подачи химикатов, контроллер и программное обеспечение, должны быть российского производства; импортные компоненты допускаются только с согласия заказчика.

Минпромторг планирует завершить разработку к ноябрю 2029 года. Исполнитель был определён 19 июня, однако его название скрыто в системе государственных закупок. Минпромторг не раскрыл победителя до подписания контракта, но подтвердил, что данное направление будет продолжено в рамках программы развития электронного машиностроения. Эксперты поясняют, что влажное травление — это технологический процесс равномерного растворения поверхностного слоя материала с помощью химических растворов, используемый для удаления толстых слоёв, очистки от загрязнений и бездефектного селективного удаления материала. На ранних этапах серийного производства влажное травление применяется чаще, в то время как для более точных операций используется плазмохимическое травление. Последнее воздействует на материал ионизированным газом в вакуумной камере, позволяя с высокой точностью формировать структуры. Влажные процессы дешевле и проще в организации серийного производства.

Этап химической обработки определяет качество будущих микросхем, поэтому оборудование должно выполнять травление, очистку и сушку пластин в строго контролируемых условиях. Стабильность этих процессов определяет надёжность всей технологической цепочки. В настоящее время в России нет прямых отечественных аналогов такого оборудования. Тем не менее, в стране имеются определённые возможности в области автоматизации, химически стойких материалов и промышленного программного обеспечения. Эксперты предполагают, что разработку может взять на себя структура, входящая в группу «Элемент», включая НИИМЭ и НИИТМ. По оценкам экспертов, заявленное финансирование достаточно для проведения опытно-конструкторских работ, но без значительного остатка. Такие проекты требуют длительной наладки, тестирования, работы в условиях чистых помещений и множества итераций; ключевыми факторами станут кооперация, а также доступ к технологиям и материалам.

В июне 2026 года Минпромторг также объявил тендеры на другие опытно-конструкторские работы в области микроэлектроники с общим объёмом финансирования 7,6 млрд рублей. Эти средства планируется направить на разработку оборудования и материалов, необходимых для литографии, молекулярно-лучевой эпитаксии, контроля ионной имплантации и сканирующей электронной микроскопии. По данным директора Департамента станкостроения и тяжёлого машиностроения Минпромторга Валерия Пивени, объём производства в данной отрасли вырос с 2,93 млрд рублей в 2023 году до 5,32 млрд рублей в 2025 году, и ожидается, что в 2026 году этот показатель может увеличиться ещё почти на 5%, достигнув 5,58 млрд рублей.

Данный материал скомпилирован платформой Wedoany. При цитировании материалов, созданных с помощью искусственного интеллекта (ИИ), необходимо обязательно указывать источник — «Wedoany». В случае выявления нарушения прав или иных проблем просим своевременно информировать нас. Сайт оперативно внесёт изменения или удалит материал.Электронная почта: news@wedoany.com