Репортаж от Wedoany，Министерство промышленности и торговли России (Минпромторг) выделило в общей сложности почти 2 миллиарда рублей по двум тендерам на разработку и производство материалов для электронно-лучевой и взрывной литографии, используемых в изготовлении микроэлектронных и СВЧ-компонентов.
Первый тендер на сумму 1,017 миллиарда рублей предназначен для разработки материалов электронно-лучевой литографии; второй тендер на сумму 889,5 миллиона рублей — для разработки материалов взрывной литографии. Обе работы должны быть завершены к ноябрю 2029 года.
В рамках проекта «СВЧ Резист-1» планируется разработать 12 видов электронно-лучевых резистов для замены продукции немецких компаний Allresist и Microresist, японской ZEON Corporation и американской MicroChem. Проект «СВЧ Резист-2» предусматривает разработку 7 материалов для замены американских резистов серий LOR и PMGI. В документах отмечается, что в России в настоящее время отсутствуют собственные производственные мощности для таких материалов, и ранее научные и промышленные потребности удовлетворялись за счет зарубежных поставок. Электронно-лучевая литография позволяет создавать сверхточные структуры с разрешением до нанометрового уровня и широко применяется в разработке чипов и фотошаблонов. Взрывная литография используется для формирования металлических структур в микроэлектронике и имеет важное применение в СВЧ- и силовой электронике.
Новый тендер является продолжением программы импортозамещения материалов для микроэлектроники. Ранее Минпромторг России уже выделял средства на разработку фоторезистов, специальных газов и химических материалов, необходимых для производства интегральных схем и полупроводниковых компонентов.
Данный материал скомпилирован платформой Wedoany. При цитировании материалов, созданных с помощью искусственного интеллекта (ИИ), необходимо обязательно указывать источник — «Wedoany». В случае выявления нарушения прав или иных проблем просим своевременно информировать нас. Сайт оперативно внесёт изменения или удалит материал.Электронная почта: news@wedoany.com
