ASMPT и его суббренд Aoximing недавно представили новую систему обработки голых пластин ALSI LASER1206. Эта система представляет собой полностью автоматизированное оборудование для лазерной резки и прорезания пазов, ориентированное в первую очередь на полупроводниковые компании в таких областях, как передовая упаковка, производство автомобильных силовых устройств и чипов для искусственного интеллекта.
ALSI LASER1206 использует запатентованную технологию многолучевого ультрафиолетового лазера, что позволяет достичь высокой точности обработки при минимальном тепловом воздействии. Система поддерживает обработку различных полупроводниковых материалов, таких как кремний, карбид кремния и нитрид галлия, и подходит для процессов резки пластин и прорезания пазов, необходимых для передовой упаковки. Оборудование интегрирует станции нанесения покрытия и очистки пластин и предлагает различные варианты полностью автоматизированной обработки с рамками для пленки и складированием голых пластин. Система плоского перемещения обеспечивает точность позиционирования менее 1,5 микрометра, процесс прорезания пазов может обрабатывать пластины толщиной от 60 до 800 микрометров, а процесс резки — пластины толщиной от 20 до 200 микрометров.
В процессах передовой упаковки точность резки пластин и прорезания пазов напрямую влияет на выход годных изделий и надежность последующих технологических этапов. Предварительная юстировочная станция системы может обнаруживать выемку и плоский край пластины, обеспечивая точное выравнивание пластины. Интегрированные станции нанесения покрытия и очистки используются для нанесения защитной пленки, а также удаления частиц и остатков. В ASMPT заявляют, что эта система призвана удовлетворить растущие сложные требования производителей интегральных устройств и фаундри к лазерной обработке в процессах передовой упаковки.
Патрик Хубертс, руководитель бизнеса и маркетинга ASMPT ALSI, заявил: «Эта новая платформа создана для удовлетворения потребностей в аппаратном обеспечении для революции в области искусственного интеллекта. Она сочетает в себе высокоточную лазерную обработку и интеллектуальную автоматизацию, способствуя развитию следующего поколения производства полупроводников. Эта платформа является идеальным выбором для передовой упаковки, искусственного интеллекта, автомобильных силовых устройств и мобильных приложений, а также оптимальным решением для подготовки к плазменной резке с высоким выходом годных изделий.»
Aoximing была основана в 2023 году в Шанхае, Китай, и является суббрендом ASMPT, специализирующимся на предоставлении локализованных полупроводниковых решений. Штаб-квартира ASMPT находится в Сингапуре, а сфера деятельности охватывает области тестирования и сборки полупроводников, а также технологию поверхностного монтажа. Представленная система ALSI LASER1206 еще больше расширяет продуктовую линейку компании в области оборудования для передовой упаковки.
