PI представляет в США высокоточную XY-платформу с апертурой 360 мм

Репортаж от Wedoany，Новая XY-платформа серии V-700 с механическими подшипниками, представленная компанией PI, предназначена для применений, требующих высокой точности, но не требующих воздушных подшипников. Высокоточная XY-платформа с линейным двигателем V-783 является одной из самых конкурентоспособных тонких XY-позиционирующих систем в этой серии. Разработанная и изготовленная в США, платформа имеет апертуру 360x360 мм, обеспечивая длинный ход, нанопозиционирование и плавное высокоскоростное сканирование. Она подходит для полупроводниковой инспекции, фотонной юстировки, метрологии, визуализации, биотехнологий, лазерной микрообработки, прецизионной сборки, микроскопии и передовых автоматизированных систем.

Платформа V-783 обеспечивает ход более 12 дюймов (±155 мм) по каждой оси и использует компактную интегрированную XY-конструкцию, которая тоньше и жестче по сравнению с традиционными решениями, состоящими из отдельных платформ с прямым приводом. Большая открытая апертура поддерживает применение проходящего света, а бессердечниковые бесщеточные линейные двигатели с прямым приводом обеспечивают плавное и высокоповторяемое многоосевое движение за счет устранения люфта и зазоров в кинематической цепи. Ключевые характеристики включают: ход 12,2x12,2 дюйма (310×310 мм), совместимость с 300-мм пластинами; апертуру 360x360 мм для проходящего света; разрешение энкодера 1 нм с возможностью выбора инкрементального или абсолютного энкодера; максимальную скорость 1 м/с и ускорение 10 м/с²; повторяемость позиционирования ±0,07 мкм и точность позиционирования ±0,17 мкм; прямолинейность и плоскостность 0,75 мкм; интегрированная XY-конструкция поддерживает нагрузку 50 кг с высокой жесткостью. Опция абсолютного энкодера предоставляет информацию о положении сразу после включения питания без необходимости процедуры обнуления, что способствует повышению доступности оборудования.

Платформа может быть объединена с контроллером движения серии A-800 на базе ACS от PI, образуя высокопроизводительную систему движения, поддерживающую синхронные многоосевые операции, подключение по сети EtherCAT и расширенные возможности сервоуправления. Платформа V-783 представляет собой надежную позиционирующую платформу для OEM-производителей и системных интеграторов, объединяя в компактной конструкции производительность прямого привода, обратную связь с нанометровым разрешением, высокую геометрическую точность и длинный ход, что делает ее подходящей для применений в области прецизионной инспекции, производства и автоматизации.

Данный материал скомпилирован платформой Wedoany. При цитировании материалов, созданных с помощью искусственного интеллекта (ИИ), необходимо обязательно указывать источник — «Wedoany». В случае выявления нарушения прав или иных проблем просим своевременно информировать нас. Сайт оперативно внесёт изменения или удалит материал.Электронная почта: news@wedoany.com