Китайская компания CIQTEK представила просвечивающий электронный микроскоп с автоэмиссионным источником на 200 кВ и освоила серийное производство и поставки

Репортаж от Wedoany，18 октября на Ежегодной конференции по электронной микроскопии Китая 2026 года в Нанкине состоялась официальная презентация просвечивающего электронного микроскопа TEM-F200 с автоэмиссионным источником на 200 кВ, разработанного компанией CIQTEK Technology (Hefei) Co., Ltd. Разрешение по точкам для данного продукта достигает 0,1 нм, разрешение по решётке — 0,25 нм; ряд ключевых эксплуатационных показателей соответствует мировому передовому уровню, а также обеспечена готовность к серийному производству и поставкам. Это знаменует ускоренный переход отечественных высококлассных просвечивающих электронных микроскопов от этапа прорыва в разработке к этапу промышленных поставок.

Просвечивающий электронный микроскоп является ключевым аналитическим инструментом в таких областях, как полупроводники, передовые материалы, новые источники энергии и науки о жизни. Он использует пучок высокоэнергетических электронов, проходящий через образец, и формирует изображение путём регистрации прошедших, рассеянных и дифрагированных электронов, обеспечивая характеризацию кристаллической структуры, границ раздела и дефектов на атомном уровне. Длительное время мировой рынок просвечивающих электронных микроскопов занимают несколько международных производителей, и отечественные пользователи испытывают серьёзную внешнюю зависимость в вопросах закупки оборудования, поставок ключевых комплектующих, ремонта и обслуживания, адаптации программного обеспечения и прикладных услуг. Локализация производства высококлассных просвечивающих электронных микроскопов способствует повышению уровня автономности и контролируемости цепочек поставок научного оборудования.

Просвечивающие электронные микроскопы с автоэмиссионным источником класса 200 кВ предъявляют чрезвычайно высокие требования к согласованной стабильности работы таких систем, как электронная пушка, высоковольтный источник питания, электронная оптика, детекторы и система управления прибором в целом, и долгое время оставались технологической вершиной международных производителей. Команда CIQTEK путём собственных разработок выполнила полный цикл работ — от ключевых модулей и программного обеспечения управления и анализа до системной интеграции и комплексной оптимизации.

Председатель совета директоров CIQTEK Хэ Юй отметил: «Просвечивающий электронный микроскоп на 200 кВ обладает более высоким ускоряющим напряжением, большей кинетической энергией электронного пучка и меньшей длиной волны; по сравнению с низковольтными платформами он обеспечивает более высокую проникающую способность для плотных образцов в определённом диапазоне толщин. При наличии подходящих тонких участков образца и соответствующего аналитического оборудования он позволяет более эффективно поддерживать высокоразрешающую визуализацию, анализ границ раздела и дефектов, а также анализ состава микрообластей на нанометровом уровне в таких областях, как полупроводники и передовые материалы. Сложность его разработки заключается не в простом повышении ускоряющего напряжения, а в обеспечении стабильной согласованной работы нескольких систем — высоковольтного источника питания, электронной пушки, электронной оптики, детекторов, программного обеспечения и системы управления прибором в целом. В результате непрерывных усилий TEM-F200 обрёл готовность к серийному производству и поставкам, а также создана комплексная система обслуживания клиентов».

У Айхуа, генеральный секретарь Отделения аналитического приборостроения Китайского общества приборостроения, заявила, что просвечивающий электронный микроскоп на 200 кВ может применяться в таких научно-исследовательских и промышленных областях, как разработка материалов, анализ микроструктуры и отказов чипов, биомедицина и контроль качества продукции. Презентация просвечивающего электронного микроскопа с автоэмиссионным источником на 200 кВ от CIQTEK позволит ещё больше расширить предложение высококлассного научного оборудования в стране и повысить способность к самостоятельному обеспечению аналитических и испытательных технологий.