Репортаж от Wedoany，19 июля компания Binzhou Chemical Group в рамках проекта «Бэйкунь» осуществила запуск производства электронного газообразного фтороводорода высокой чистоты и представила новую продукцию. Компания добилась технологических прорывов в четырёх звеньях: технология, инженерия, контроль и наполнение, сформировав замкнутый цикл от получения до упаковки. Чистота фтороводорода высокой чистоты для полупроводниковой промышленности достигла уровня 6N (99,9999%), что соответствует мировому уровню.
Фтороводород высокой чистоты называют «кровью» полупроводникового производства. Это незаменимый материал для очистки, травления и обслуживания камер, и его чистота напрямую определяет выход годных кристаллов. Фтороводород высокой чистоты класса 6N является необходимым для передовых технологических процессов 28 нм и менее. Китай долгое время зависел от импорта, а зарубежные компании монополизировали около 80% мирового рынка фтороводорода высокой чистоты класса 6N.
Фтороводород полупроводникового класса требует чистоты выше 99,999% (5N). Переход от 5N к 6N — это не просто дополнительная очистка, а создание совершенно новой системы очистки. Как пояснил Лю Тэн, генеральный директор подразделения специальной химической продукции Binzhou Chemical Group, ключ к достижению чистоты 6N заключается в удалении из фтороводорода следовых количеств воды, диоксида углерода, кислородсодержащих органических соединений и других взаимно растворимых примесей. В ректификационной секции компания спроектировала многократную каскадную систему ректификации. Оптимизируя внутренние компоненты колонн и рабочие окна, удалось добиться глубокого удаления углеродно-кислородных примесей при определённом градиенте давления, тем самым контролируя ключевые примеси, такие как углерод и кислород, на корню. Одновременно, для решения проблемы подверженности анализа диоксида углерода влиянию окружающей среды, компания самостоятельно разработала герметичную систему точного отбора проб и высокочувствительную схему анализа, сводя к минимуму фоновое влияние окружающей среды в процессе отбора проб, обеспечивая достоверное отражение качества продукции аналитическими данными и гарантируя стабильность и надёжность показателя 6N.
Прорыв в достижении чистоты 6N стал результатом системной технологической работы по четырём направлениям: технология, инженерия, контроль и наполнение. На инженерном этапе компания решила проблемы контроля выделения примесей из материалов и технологии циркуляции потока, обеспечив отсутствие загрязнений в процессе получения. На этапе наполнения были разработаны технологии защитной обработки баллонов и удаления примесей методом замещения, что позволило контролировать качество на последнем этапе перед отгрузкой продукции. Четыре технологических аспекта образуют замкнутый цикл, обеспечивая стабильное поддержание качества продукции на уровне 6N, соответствующем мировому уровню.
В настоящее время рыночная цена фтороводорода высокой чистоты класса 6N превышает 2 миллиона юаней за тонну. Компания Binzhou Chemical Group завершила строительство и пусконаладку линии по наполнению баллонов фтороводородом высокой чистоты мощностью 50 тонн в год, получила лицензию на наполнение газовых баллонов, выданную Специальной инспекцией провинции Шаньдун, располагает полным комплектом документов на производство, наполнение и продажу, а также начала презентацию продукции ключевым клиентам в Китае и за рубежом.
