Репортаж от Wedoany，Германия Компания PI (Physik Instrumente) представила высокопроизводительный параллельный кинематический Z-наклонно-поворотный столик A-523 на основе технологии линейных направляющих с воздушными подшипниками. Эта компактная система позиционирования с воздушными подшипниками предназначена для требовательных приложений в области выравнивания, контроля, метрологии, полупроводников и фотоники.
Благодаря конструкции с параллельной кинематикой, A-523 объединяет три степени свободы: Z, наклон и поворот в одном компактном узле. Платформа использует бесконтактные воздушные подшипники, безжелезные линейные двигатели прямого привода и оптические энкодеры с нанометровым разрешением, обеспечивая исключительные характеристики позиционирования, одновременно устраняя износ, техническое обслуживание и эффект ползучести, связанные с традиционными системами с механическими подшипниками. Система обеспечивает ход по оси Z 5 мм, диапазон движения по наклону/повороту до примерно 2 градусов и может поддерживать полезную нагрузку до 8 кг на большой платформе диаметром 250 мм.
В отличие от стековых механических платформ, A-523 использует архитектуру с параллельной кинематикой, где единая подвижная платформа приводится в движение тремя синхронными линейными двигателями. Такая конструкция снижает общую высоту, уменьшает движущуюся массу и инерцию, а также устраняет накопление геометрических ошибок, характерное для систем со стековыми осями, обеспечивая высокодинамичное движение с высокой повторяемостью, точностью позиционирования и долговременной стабильностью. Конструкция с бесконтактными воздушными подшипниками обеспечивает плавное движение без зазоров, гистерезиса и износа. Благодаря отсутствию катящихся элементов или механических контактных поверхностей, система подходит для чистых помещений и приложений, требующих длительного срока службы и стабильных характеристик.
A-523 подходит для контроля пластин, полупроводниковой метрологии, безмасочной литографии, позиционирования оптоволокна, оптического выравнивания, контроля плоскопанельных дисплеев и передового производства фотоники. Его высокая способность к ускорению, сверхтонкая конструкция и разрешение обратной связи на нанометровом уровне поддерживают как задачи статического выравнивания, так и высокопроизводительные автоматизированные производственные среды. Для многоосевых приложений A-523 может быть интегрирован с плоскими платформами на воздушных подшипниках (например, A-311) или в комбинации с платформой на воздушных подшипниках A-361 XYθ, образуя компактные 5- и 6-осевые системы движения для прецизионной автоматизации и передового производства.
Основные характеристики A-523 включают: направляющие на бесконтактных воздушных подшипниках, диапазон хода по оси Z 5 мм, движение по наклону/повороту до 2 градусов, грузоподъемность до 8 кг, большая платформа 250 мм (10 дюймов), сверхтонкая конструкция (всего 60 мм в высоту), безжелезные линейные двигатели прямого привода, разрешение энкодера 1 нм, пригодность для работы в чистых помещениях, а также платформа движения с нулевым износом, без смазки и без технического обслуживания. Данное изделие расширяет линейку сверхточных систем движения на воздушных подшипниках PI, предлагая инженерам и исследователям компактное высокопроизводительное решение для приложений с высокими требованиями к точности, стабильности, чистоте и динамическим характеристикам.
Данный материал скомпилирован платформой Wedoany. При цитировании материалов, созданных с помощью искусственного интеллекта (ИИ), необходимо обязательно указывать источник — «Wedoany». В случае выявления нарушения прав или иных проблем просим своевременно информировать нас. Сайт оперативно внесёт изменения или удалит материал.Электронная почта: news@wedoany.com
