30 июля первая серийная установка магнетронного распыления Star600-EOSS для высокоточной оптики на 12-дюймовых пластинах, разработанная компанией Jiangsu XianDao Microelectronics, завершила сборку и комплексную наладку на производственной базе в зоне высокотехнологичного развития Сюйчжоу (провинция Цзянсу), успешно прошла автоматизированную и технологическую верификацию и была официально поставлена ведущему отечественному производителю пластин. Успешная отгрузка первой установки знаменует собой важный прорыв компании в области высококлассного оборудования для оптического напыления на пластинах — от разработки и производства до промышленной поставки, что дополнительно ускоряет локализацию данного оборудования.
Передовая мировая технология оптического напыления на пластинах локализована в Китае
Star600-EOSS — это высококлассное оборудование для прецизионного оптического магнетронного распыления на пластинах, разработанное на основе существующих технологических возможностей группы. Благодаря ключевым патентам группы, базе технологических процессов и системе проектирования оборудования компания Jiangsu XianDao успешно реализовала инженерное внедрение передовых международных технологий, а также, опираясь на собственные разработки, выполнила оптимизацию и адаптацию технологических процессов, обеспечив надежную аппаратную поддержку для производства высококлассных оптических пленок.
Ряд ключевых технологических преимуществ для удовлетворения требований высокоточной обработки 12-дюймовых пластин
Star600-EOSS специально разработана для оптического напыления на 12-дюймовых пластинах и обладает рядом преимуществ, ориентированных на ключевые потребности процесса осаждения пленок. Оборудование использует конструкцию с парными вращающимися катодами и восходящим распылением (Sputter-up), что на физическом уровне снижает образование частиц и повышает стабильность процесса. Установка поддерживает обработку целых 12-дюймовых пластин: равномерность толщины пленки в пределах пластины ≤±0,3%, стабильность процесса между пластинами в пределах 0,3%. Оборудование идеально подходит для серийного производства таких прецизионных оптических пленок, как инфракрасные отсекающие фильтры, просветляющие покрытия (AR), диэлектрические пленки для оптических волноводов, а также узкополосные фильтры с более чем 100 слоями. Продукция отличается отличными характеристиками, отсутствием сдвига длины волны и стабильным выходом годных изделий. Кроме того, установка оснащена встроенной системой оперативного спектрального мониторинга, обеспечивающей корректировку толщины осаждаемой пленки в реальном времени в замкнутом контуре. В части автоматизации стандартно предусмотрен фронтальный модуль EFEM, совместимый с отраслевыми стандартными 12-дюймовыми кассетами FOUP; вакуумный захватный манипулятор обеспечивает полностью автоматическую передачу кассет, поддерживается интеграция с заводской системой MES через протоколы SECS/GEM для непрерывного производства в автоматическом режиме 7×24 часа. Оборудование имеет модульную конструкцию технологического процесса, оснащено многопозиционными независимыми катодными узлами магнетронного распыления, позволяет свободно переключать различные мишени, а также опционально оснащается ионным источником, системой оперативной плазменной предварительной обработки и низкотемпературным термостатируемым столом, что удовлетворяет как потребности в гибкой подготовке исследовательских образцов, так и требования стабильности крупносерийного производства.
Формирование комплексного решения с синергией материалов и оборудования
В отличие от производителей отдельных единиц оборудования, компания Jiangsu XianDao, опираясь на преимущества полной производственной цепочки материнской компании XianDao Technology Group, сформировала вертикально интегрированное ключевое конкурентное преимущество: «высокочистые мишени — готовое оборудование для напыления — разработка технологий нанесения пленок». В области оптических пленок компания, используя ресурсы группы по высокочистым оптическим мишеням из индия, тантала, титана, кремния и других материалов, может одновременно выполнять подбор мишеней и разработку технологических рецептур под требования заказчика, предоставляя комплексные индивидуальные решения для напыления. Успешная отгрузка данного оборудования — важный результат последовательной работы по самостоятельной разработке ключевого оборудования и его промышленному применению. В будущем компания продолжит фокусироваться на инновациях в области передовых технологий осаждения тонких пленок, способствуя высококачественному развитию прецизионной оптики, пластинчатой оптики и полупроводниковой промышленности.