Тендер на закупку оборудования для сухого травления Федеральным университетом Мюнхена, Германия

I. Основные положения

Тип тендера: Поставка.

Наименование проекта: Поставка оборудования для сухого травления.

Способ закупки: Открытый.

Тип контракта: Поставка.

Код CPV: 22520000 Оборудование для сухого травления.

II. Технические характеристики и информация о товаре:

Закупаемое оборудование для сухого травления предназначено в основном для процесса удаления материала в технологии производства полупроводников, осуществляя анизотропное травление с помощью плазмы. Типы оборудования включают установки травления с индуктивно-связанной плазмой, системы реактивно-ионного травления и установки глубокого реактивно-ионного травления. Применимые материалы охватывают кремний, диоксид кремния, нитрид кремния, металлические слои и сложные полупроводники. Технологические требования: однородность травления лучше ±3%, скорость травления кремния не менее 2 мкм/мин, окислов не менее 300 нм/мин, отклонение критического размера контролируется в пределах ±5%. Конфигурация камеры: материал — алюминиевый сплав или нержавеющая сталь, совместимость с пластинами диаметром от 4 до 8 дюймов, с возможностью расширения до 12 дюймов. Источник плазмы оснащен ВЧ-генератором 13,56 МГц и независимым управлением смещением. Газовая система поддерживает не менее 6 каналов технологических газов с точностью лучше ±1%. Вакуумная система обеспечивает базовый вакуум лучше 5×10⁻⁶ Торр. Оснащена системой детектирования конца процесса на основе оптической эмиссионной спектроскопии. Система управления поддерживает стандарт связи SECS/GEM.

III. Содержание проекта и объем услуг:

Объем поставки включает основное оборудование для сухого травления, вакуумные насосные агрегаты, ВЧ-генераторы, шкафы подачи газа, систему охлаждения, управляющее программное обеспечение и запасные части. Объем услуг охватывает установку и наладку оборудования, обучение операторов, приемо-сдаточные испытания процессов, поддержку ремонта в течение гарантийного срока и план технического обслуживания после окончания гарантии. Критерий приемки: безотказная работа оборудования в течение 72 часов подряд и соответствие техническим показателям.

IV. Условия реализации

Срок реализации: с 1 июня 2026 г. по 31 марта 2027 г.

V. Требования к заявкам

Язык заявки: Немецкий.

Способ подачи заявки: Электронная подача.

Срок подачи заявок: 14 апреля 2026 г., 13:00:00.

Срок действия заявки: 51 день.

VI. Ключевые даты

Дата публикации тендерного уведомления: 25 марта 2026 г.

Срок подачи заявок: 14 апреля 2026 г., 13:00:00.