Первый 310-миллиметровый панельный гальванический аппарат ACM Research Shanghai отправлен заказчику

Репортаж от Wedoany，29 октября первый серийный панельный горизонтальный гальванический аппарат Ultra ECP ap-p формата 310 мм × 310 мм китайского производителя полупроводникового оборудования ACM Research Shanghai был отправлен заказчику в Азии за пределами материкового Китая. Аппарат использует собственную технологию горизонтального гальванического осаждения и поддерживает процессы нанесения покрытий из меди, никеля, олова-серебра, золота и других металлов; основное применение — производство передовых полупроводниковых корпусов.

Медная гальваническая камера аппарата оснащена высокоскоростной перемешивающей пластиной, обеспечивающей равномерность покрытия в пределах кристалла при высокой скорости осаждения для медных столбиков высотой 300 мкм. Система использует сухой контактный зажим с уплотнением по четырём сторонам и функцию промывки в ванне, что снижает перекрёстное загрязнение химикатами между различными гальваническими ваннами.

Её система горизонтального гальванического осаждения использует запатентованную технологию, обеспечивающую синхронную работу вращения зажима и вращающегося прямоугольного электрического поля для контроля равномерности осаждения металла. Ранее ACM Research Shanghai уже получила оценочный заказ на панельный горизонтальный гальванический аппарат формата 310 мм × 310 мм; первоначально поставка планировалась на четвёртый квартал 2026 года.